李院士向走廊上看了一眼，然后关上房门，不等坐下，他就迫不及待地说道：
“现在没外人了，小牧同志，赶紧说一说你的解决方案！”
“其实吧，对于这个解决方案，我也是听别人说的。”
徐端逸比他更急。
他主持研制的分步投影光刻机之所以下马，主要是因为受到国外同行的打压，不能产生市场效应和经济利益，没有资金维持下去。
但还有一个原因，却是行业外的人不知道的。
那就是光刻机光源陷入了193纳米的技术问题上，无法取得根本性的突破。
所以，在牧乔说出利用光的折射原理来解决光源波长问题时，徐端逸犹如“一语惊醒梦中人”，心中顿时豁然开朗，巴不得马上就开始研究工作。
同时，他也对牧乔所说的第二个解决方案充满了好奇。
齐远思一宣布散会，他就迫不及待地跑来找牧乔来了。
牧乔笑了笑，在两人急切的目光中，继续说道：
“我的第一个解决方案，是利用了光在液体中的折射原理，对于光源本身没有做出任何改变。”
“而另一个解决方案，就是改进光源！”
“用什么来替代现有光源？”徐端逸迫切地问道。
他是光学微加工技术方面的专家，自然知道光刻机改进光源的重要性，但用什么来替代目前的光源，他现在心里却还一点数都没有。
牧乔并没有直接回答他的话，反而问道：
“徐教授，你们研制出来的分步投影光刻机，用的是什么光源？”
“我们用的是高压汞灯，经过滤光后使用其中的i线，波长最短能达到365纳米。”
牧乔沉声道：
“光刻机的每一次进步，其实就是光源的改进，据我所知，目前国际上的光刻机已经发展到了第四代。”
牧乔竟然还能清晰地记得，上辈子无意间看过的一篇关于光刻机发展的科普资料。
虽然他一直记忆力都非常好，但好到这种程度，却还是让他感到有些意外。
难道这就是他重生带来的金手指？
心里这样想着，他嘴里却没有停下来：
“第四代光刻机采用波长193纳米的ArF准分子激光作为光源，将最小工艺节点提升到了65纳米的水平，在光刻工艺上也采用了扫描投影式光刻，以扫描的方式在硅片上实现曝光。”
徐端逸团队研制出来的分步投影式光刻机，虽然号称接近国际先进水平，但实际上还有着不小的差距。
拿光源来说就差了两代。
这点他们很有自知之明。
但知道也没办法，没那个技术，只能“望机兴叹”。
其实，早在70年代，米国就研制出了准分子激光器，并在80年代将它用于钻石加工和半导体光刻工艺中。
1986年，贝尔实验室首次将准分子激光应用到分步投影光刻机和医学上。
但国内的光源研究却还停留在高压汞灯的阶段。
“如果能将准分子激光和浸入式工艺相结合，波长将会缩短到134纳米，最高可实现6纳米制程节点。”
牧乔所说的浸入工艺，就是将镜头和硅片之间的空间浸泡于纯净水之中，由于纯净水的折射率为1.44，所以ArF加浸入技术就能得到134纳米的波长。
这是后世已经实现的技术，但李坚强和徐端逸二人却认为这只是牧乔想象之中的最好结果。
不过，只是想一想，都让他们格外兴奋。
但兴奋过后，接踵而来的就是沮丧。
“我们连准分子激光器都造不出来……”
这一点，牧乔当然也是考虑过的。
“造不出就买，买过来拆开来研究，我就不相信有实物，咱们都仿造不出来！”
李坚强叹了口气：“关键是人家不卖给我们。”
“买不到光刻机，可以买钻石加工机和医疗器械，到时将它们上面的准分子激将器拆下来不就行了？”
“好主意！”两人的眼睛顿时一亮，随即，李坚强就握住了牧乔的手。
“小牧同志，这件事情就拜托你了！”
“放心！我在香江开了一家进出口贸易公司，到时让他们出面去购买。”
“只要出得起价钱，钻石加工机也好，医疗器械也好，统统都不是问题。”
“那就好！那就好！”
李坚强满怀憧憬地说道：“只要能买到激光器，我们就一定能够仿造出来。”
“这一次，是我们超越国外先进技术的最佳时机，万万不能再耽误了！”
徐端逸叹道：“是啊，错过了这一次，还不知道要多少时间才能追赶得上来。”
李坚强激动地道：
“回头我就和齐校长一起去教委，争取最快的时间把合作计划批下来，小牧同志，你那边也要抓紧点了！”
“我马上就安排！”
说好准分子光源的事，牧乔又将话题转回到光刻机以后的研究方向上来。
“目前国际光刻机常用的光源，大致可以分为两类，一是紫外光，二是深紫外光（准分子激光产生的也是深紫外光）。”
“但还有一种极紫外光，它能将波长缩短到10-15纳米！”
徐端逸一听就摇头道：“极紫外光我知道，但要拿它来做光刻机光源，我觉得根本无法实现。”
“不说如何产生适用的光线，就是它的稳定性和转换效率等等，都是无法解决的难题！”
“所以我将它定为一个长期投入、长期研究的目标。”牧乔郑重地说道。
极紫外光刻机被称为人类工业文明皇冠上的明珠。
上一世，光刻机巨头ASML公司花了10多年时间，投入大量的人力物力，才在2010年推出第一台EUV光刻机，并从此垄断了全球高端光刻机市场。
这一世，有机会取而代之，哪怕困难再大，牧乔也不打算放弃。
“光靠我们水木，恐怕担不起这个担子！”
牧乔用力地挥了挥手，“一口吃不出一个胖子，咱们一步一步来！”
“我们现在的目标，就是造出193纳米的准分子激光器。” 蓝星，夏国。
肿瘤科病房，弥漫着医院独有的消毒水味道。病房是单人间，设施俱全，温馨舒适。
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可对于孑然一身的路遥来讲，却是无人问津的等死之地。
他是癌症晚期，靠着意志力撑到现在，但也只是多受几天罪罢了。
此刻，路遥躺在病床上，怔怔望着床头柜上的水杯，想喝口水。
可他拼尽全力却无法让身体离开病床。剧痛和衰弱，让这原本无比简单的事情成了奢望。
这时，一道幸灾乐祸的声音响起：“表哥~你真是狼狈呢。连喝口水都得指望别人施舍。”
一位英俊的年轻男子悠闲坐在病床前，翘着二郎腿，眼睛笑成一道缝。
“你求求我，我给你喝口水如何？”
路遥面无表情，一言不发。自从失去了自理能力，一帮亲戚的嘴脸已经见多了，不差这一个。
男子起身，将水杯拿在手里递过来，“表哥别生气，我开玩笑的，你对我这么好，喂你口水还是能办到的。”
说完话，他将水杯里的水，缓缓倒在路遥苍白消瘦的脸上。
被呛到，路遥无力的咳嗽几声，好在少量的水流过嗓子，让他有了几丝说话的力气：
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“张鑫，为什么？我从未得罪过你。你去星盟国留学，还是我资助的！”
张鑫将水杯放下，不紧不慢的说：“谁让你这么古板呢，只是运点感冒药罢了，又不犯法，你非得千方百计的拦着。”
路遥脸上闪过一丝了然之色，道：“张鑫你这垃圾，狗改不了吃屎。将感冒药运到国外提炼毒品……咳咳……”
张鑫理了下领带，笑道：“你别血口喷人啊，我可是国际知名企业家。这次回国，‘省招商引资局’还打电话欢迎我呢~”
路遥叹了口气，现在的自己什么都做不了，索性闭上眼睛不再说话，安静等待死亡的到来。
但张鑫却不想让眼前饱受病痛折磨、即将离世的表兄走好。他附身靠近，悄悄说道：琇書蛧
“表哥啊~其实呢，我这次回国主要就是见你一面，告诉你一声——你的癌，是我弄出来的~”
路遥陡然挣开眼，“你说什么！”
张鑫笑眯眯的掏出个铅盒打开，里面是件古怪的三角形饰物，仅有巴掌大小，中间是只眼睛似的图案，一看就很有年代感。
“眼熟吧？这是我亲手送你的，货真价实的古董。我在里面掺了点放射性物质，长期接触就会变成你现在这副鬼样子。”
路遥马上认出来，这是自己很喜欢的一件古物，天天摆在书桌上，时不时的把玩，没想到却是要人命的东西！
他伸出枯枝似的手臂，死死的抓住眼前人的胳膊！“你……”
“别激动~表哥，我西装很贵的。”张鑫轻松拿掉路遥的手，小心的捏起铅盒，将放射性饰物塞进他怀里。
“我赶飞机，得先走一步。你好好留着这个当做纪念吧，有机会再去你的坟头蹦迪~”
说完话，张鑫从容起身离开。临走前，还回头俏皮的眨眨眼。他原本就男生女相，此时的神态动作居然有些娇媚。
保镖很有眼力劲，赶紧打开病房门。同时用无线耳麦联络同事，提前发动汽车。
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路遥只能无力的瘫在床上，浑身皆是钻心剜骨般的剧痛，还有无穷悔恨、不甘。
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但很快，剧痛渐渐消失，只剩麻木，路遥隐约听到过世的双亲在喊他。
就在路遥的身体越来越飘，即将失去意识时，胸口突然阵阵发烫，将他惊醒。
从怀中摸出那三角形饰物，发现这玩意变得滚烫无比，还在缓缓发光！
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